[实用新型]一种自动调节的斜入射光路

权利要求书

1.一种自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述光路包括：

激光器，所述激光器发出光束；

第一反射镜，所述第一反射镜改变所述光束的传播方向，使所述光束斜入射至样品台表面；所述第一反射镜由电动旋转镜架控制旋转角度；

第二反射镜，所述第二反射镜改变经所述样品台反射出的光束的传播方向；

分束器，经所述第二反射镜反射后的光束入射至所述分束器中；所述分束器将所述光束分为第一光束和第二光束；

位置探测器，所述第一光束入射至所述位置探测器中；所述位置探测器探测得到第二子坐标系中光束中心位置；

控制单元，所述控制单元获取所述第二子坐标系中光束中心位置；所述控制单元根据所述第二子坐标系中光束中心位置计算得出第一子坐标系中光束中心位置；所述控制单元根据所述第一子坐标系中光束中心位置计算得到所述第一反射镜需要调整的角度；所述控制单元将所述需要调整的角度通过发布指令传递给所述电动旋转镜架，从而调整所述第一反射镜的旋转角度。

2.如权利要求1所述的自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述光路还包括：

光阱，所述第二光束入射至所述光阱中。

3.如权利要求1所述的自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述第一光束的强度小于所述第二光束的强度。

4.如权利要求1所述的自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述第二反射镜和所述分束器之间还设置有第一透镜，所述第一透镜对经第二反射镜反射后的光束进行会聚。

5.如权利要求1所述的自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述激光器和所述第一反射镜之间还设置有第三反射镜，所述第三反射镜改变所述光束的传播方向。

6.如权利要求5所述的自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述第三反射镜为多个。

7.如权利要求1所述的自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述激光器和所述第一反射镜之间还设置有第一光学元件，所述第一光学元件对光束进行扩束和/或整形。

8.如权利要求7所述的自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述第一光学元件为第一透镜组。

9.如权利要求1所述的自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述激光器和所述第一反射镜之间还设置有第二光学元件，所述第二光学元件对光束进行会聚。

10.如权利要求9所述的自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述第二光学元件为第二透镜。