[实用新型]一种薄膜温度传感器及六靶台双离子束反应溅射沉积设备有效
| 申请号： | 201621020373.6 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206019863U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刁克明 | 申请（专利权）人： | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/04 | 分类号： | G01K7/04;C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司11609 | 代理人： | 周娇娇,谭辉 |
| 地址： | 100071 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 温度传感器 靶台 离子束 反应 溅射 沉积 设备 | ||
【说明书】：
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