[实用新型]一种多级乙硅烷精馏装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及乙硅烷的制备装置，具体涉及一种多级乙硅烷精馏装置。

背景技术

乙硅烷作为一种电子气体，主要用于太阳能电池以及电子产品中。目前，太阳能电池及电子产品中所用到的非晶硅的生产中，非晶硅薄膜大部分采用硅烷作为淀积源。但乙硅烷与硅烷相比，具有沉积速度快、沉积温度低的优点，因此乙硅烷的市场前景很大。

现在制备乙硅烷的方法也有很多，其中包括硅化镁与氯化铵置于在液氨中反应，得到硅烷、乙硅烷、氨气和氢气等混合气体。因此，需要通过精馏获得高纯度的乙硅烷。目前的精馏设备可能会有氨气残留，影响乙硅烷的纯度，而且对硅烷并没有进行精馏处理。

实用新型内容

为解决现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种即能对硅烷精馏，又能保证乙硅烷的纯度的多级乙硅烷精馏装置。

为了实现上述目标，本实用新型采用如下的技术方案：

多级乙硅烷精馏装置，包括依次连接的第一精馏塔、第二精馏塔，其特征在于，还包括与所述第一精馏塔的顶部排气口连接的辅助精馏塔，与所述第二精馏塔连接的第三精馏塔；所述第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔的顶部排气口分别与第二废弃罐、第三废弃罐和辅助废弃罐连接；所述第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助精馏塔下方分别与第一再沸器、第二再沸器、第三再沸器和辅助再沸器连接；所述第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔和辅助冷凝器内分别设有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和辅助冷凝器；所述第三精馏塔的底部出料口与乙硅烷存储罐连接；所述第二精馏塔的底部出料口通过2根导管分别与第三精馏塔、乙硅烷存储罐连接。

更进一步的说，所述辅助精馏塔的底部出料口与辅助存储罐连接。

更进一步的说，与所述第二精馏塔的底部出料口连接的2根导管上分别设有一个阀门开关。

更进一步的说，所述第一冷凝器的温度小于所述第二冷凝器的温度。

更进一步的说，所述第一冷凝器的温度为-39℃~-35℃，所述第二冷凝器的温度为-20℃~-14℃。

更进一步的说，所述辅助冷凝器的温度为-120℃~-112℃。

更进一步的说，所述第三冷凝器的温度大于或等于所述第二冷凝器的温度。

本实用新型的有益之处在于：辅助精馏塔能对硅烷进行回收，单独存储，保证硅烷的安全；第三精馏塔可以根据需要，选择是否针对氨气进行二次精馏，保证乙硅烷的纯度。

附图说明

图1是本实用新型的多级乙硅烷精馏装置的结构示意图。

图中附图标记的含义：

1-第一精馏塔，12-第一再沸器，13-第一冷凝器， 2-第二精馏塔，21-第二废弃罐，22-第二再沸器，23-第二冷凝器，3-第三精馏塔，31-第三废弃罐，32-第三再沸器，33-第三冷凝器，34-乙硅烷存储罐，4-辅助精馏塔，41-辅助废弃罐，42-辅助再沸器，43-辅助冷凝器，44-辅助存储罐，51、52-阀门开关。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型作具体的介绍。

如图1所示的一种多级乙硅烷精馏装置，包括依次连接的第一精馏塔1、第二精馏塔2和第三精馏塔3，辅助精馏塔4与第一精馏塔1的顶部排气口连接，第二精馏塔2的底部出料口与第三精馏塔3连接。第二精馏塔2、第三精馏塔3和辅助精馏塔4的顶部排气口分别与第二废弃罐21、第三废弃罐31和辅助废弃罐41连接；第一精馏塔1、第二精馏塔2、第三精馏塔3和辅助精馏塔4下方分别与第一再沸器12、第二再沸器22、第三再沸器32和辅助再沸器42连接；第一精馏塔1、第二精馏塔2、第三精馏塔3和辅助冷凝器4内分别设有第一冷凝器13、第二冷凝器23、第三冷凝器33和辅助冷凝器43；第三精馏塔3的底部出料口与乙硅烷存储罐34连接，第二精馏塔2的底部出料口通过2根导管分别与第三精馏塔3、乙硅烷存储罐34连接。辅助精馏塔4的底部出料口与辅助存储罐44连接。