[实用新型]压电致动器及其所适用的微型流体控制装置

权利要求书

1.一种压电致动器，包含：

一悬浮板，为正方形的型态，且可由一中心部到一外周部弯曲振动；

一外框，环绕设置于该悬浮板的外侧；

数个支架，每一该支架垂直连接于该悬浮板与该外框之间，以提供弹性支撑，且该支架具有长度介于1.11㎜至1.21㎜、宽度介于0.2㎜至0.6㎜；以及

一压电陶瓷板，为正方形的型态，具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的第一表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。

2.如权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，该些支架为四个支架。

3.如权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，每一该支架的一端垂直连接于该悬浮板的一侧边，另一端垂直连接于该外框的一内侧边。

4.如权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，该支架长度为1.16㎜。

5.如权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，该支架宽度为0.4㎜。

6.如权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，该压电陶瓷板具有介于0.05mm至0.3mm之间的厚度。

7.如权利要求6所述的压电致动器，其特征在于，该压电陶瓷板厚度为0.10mm。

8.如权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，该悬浮板的每一边长介于7.5mm至12mm之间，以及厚度介于0.1mm至0.4mm之间。

9.如权利要求8所述的压电致动器，其特征在于，该悬浮板的每一边长介于7.5mm至8.5mm之间，及厚度为0.27mm。

10.一种微型流体控制装置，包含：

一压电致动器，具有一悬浮板、一外框、四支架以及一压电陶瓷板，该悬浮板为正方形型态，且具有一第一表面及相对应的一第二表面，且该第二表面上具有一凸部，该外框环绕设置于该悬浮板的外侧，且亦具有一第一表面及相对应的一第二表面，且该外框的该第二表面与该悬浮板的该第二表面的该凸部之外的区域均为共平面，该支架连接于该悬浮板与该外框之间，具有且其长度介于1.11㎜至1.21㎜、宽度介于0.2㎜至0.6㎜，该压电陶瓷板具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的该第一表面上；以及

一壳体，包括一集气板及一底座，该集气板为周缘具有一侧壁以构成一容置空间的一框体结构，使该压电致动器设置于该容置空间中，而该底座由一进气板及一共振片相接合而成，并结合于该集气板的该容置空间中，以封闭该压电致动器，该进气板具有至少一进气孔及与之相连通的至少一总线孔，以构成一汇流腔室，该共振片设置固定于该进气板上，并具有一中空孔洞，相对于该进气板的该汇流腔室，且对应于该悬浮板的该凸部；

其中，该压电致动器的该外框的该第二表面与该底座的该共振片之间设置一胶层，以使该压电致动器与该底座的该共振片之间维持构成需求的压缩腔室的一间隙深度。

11.如权利要求10所述的微型流体控制装置，其特征在于，该支架长度为1.16㎜。

12.如权利要求10所述的微型流体控制装置，其特征在于，该支架宽度为0.4㎜。

13.如权利要求10所述的微型流体控制装置，其特征在于，该压电陶瓷板具有介于0.05mm至0.3mm之间的厚度。

14.如权利要求13所述的微型流体控制装置，其特征在于，该压电陶瓷板的厚度为0.10mm。

15.如权利要求10所述的微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板的每一边长介于7.5mm至12mm之间，以及厚度介于0.1mm至0.4mm之间。

16.如权利要求15所述的微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板的每一边长介于7.5mm至8.5mm之间，及厚度为0.27mm。

17.如权利要求10所述的微型流体控制装置，其特征在于，该胶层的厚度介于50μm至60μm之间。

18.如权利要求17所述的微型流体控制装置，其特征在于，该胶层的厚度为55μm。

19.如权利要求10所述的微型流体控制装置，其特征在于，该外框的厚度介于0.1mm至0.4mm之间。