[实用新型]一种双辉渗金属源极辅助阴极筒有效
| 申请号： | 201621039475.2 | 申请日： | 2016-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN206127413U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 徐晋勇;王健;高波;罗奕;张应红;孙宁;高鹏;唐亮;王岩 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司11340 | 代理人： | 但玉梅 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双辉渗 金属 辅助 阴极 | ||
1.一种双辉渗金属源极辅助阴极筒，包括呈筒身和基座，所述筒身设置在基座上端；其特征在于：所述筒身上设有呈圆周阵列的锥形小孔，所述锥形小孔较大一端位于筒身外侧；所述基座为中空结构，且基座和筒身之间隔有底盘；所述底盘上位于筒身一侧设有凹槽，且围绕该凹槽还设有若干的通孔。
2.根据权利要求1所述的一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,其特征在于：所述凹槽为圆形结构，并设置底盘中心。
3.根据权利要求1所述的一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,其特征在于：所述通孔为椭圆形通孔或长圆孔，且围绕凹槽呈圆周阵列布置并和锥形小孔设置列数相同，同列的锥形小孔中心轴线与对应通孔的中心与处于同一平面上。
4.根据权利要求3所述的一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,其特征在于：所述椭圆形通孔的短直径不小于锥形小孔内侧孔径三倍。
5.根据权利要求1所述的一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,其特征在于：所述基座侧面均布有若干散热孔。
6.根据权利要求1所述的一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,其特征在于：所述锥形小孔的锥角为120°。
7.根据权利要求1所述的一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,其特征在于：所述筒身上还设有一观察孔。
8.根据权利要求1所述的一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,其特征在于：所述基座底部为开口结构，对应该开口设置对应盖合的活动底盖。
9.根据权利要求1-8任一所述的一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,其特征在于：所述基座和筒身为一体结构，基座外轮廓与筒身外轮廓大小一致。
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