[实用新型]一种气体反应釜系统及其气体的纯化装置

权利要求书

1.一种气体的纯化装置，用于对含有杂质气体的目标气体纯化，其特征在于，包括：

具有气体进口的气体压缩机组(1)，所述气体压缩机组(1)对待处理气体压缩增压；

热交换器组(3)，所述热交换器组(3)的输入端与所述气体压缩机组(1)的气体出口连接，所述杂质气体的液化温度为第一预设温度，所述目标气体的液化温度为第二预设温度，当所述第一预设温度大于所述第二预设温度时，所述热交换器组(3)设定的温度为小于等于所述第一预设温度大于所述第二预设温度；当所述第一预设温度小于所述第二预设温度时，所述热交换器组(3)设定的温度为小于等于所述第二预设温度大于所述第一预设温度；

与所述热交换器组(3)的输出端连接的杂质收集器(4)和气体储气装置(6)。

2.根据权利要求1所述的纯化装置，其特征在于，还包括水冷热交换器(2)，所述水冷热交换器(2)的入口与所述气体压缩机组(1)的气体出口连接，所述水冷热交换器(2)的出口与所述热交换器组(3)的输入端连接。

3.根据权利要求2所述的纯化装置，其特征在于，还包括检测所述水冷热交换器(2)的出口处气体压力的压力传感器。

4.根据权利要求1所述的纯化装置，其特征在于，还包括回温热交换器(7)，所述回温热交换器(7)的进气口与所述热交换器组(3)的输出端连接，所述回温热交换器(7)的出气口与所述气体储气装置(6)连接。

5.根据权利要求4所述的纯化装置，其特征在于，所述回温热交换器(7)与所述热交换器组(3)之间的连接管道上具有节流阀(5)。

6.根据权利要求4所述的纯化装置，其特征在于，所述回温热交换器(7)和所述热交换器组(3)所需热交换介质均通过制冷压缩机(8)提供。

7.根据权利要求4所述的纯化装置，其特征在于，所述回温热交换器(7)的热交换介质为待处理气体。

8.根据权利要求1-7任一项所述的纯化装置，其特征在于，所述热交换器组(3)包括多个热交换器，且不同的所述热交换器对应不同杂质气体液化的温度。

9.根据权利要求1-7任一项所述的纯化装置，其特征在于，还包括检测所述热交换器组(3)的第一输出端的温度的温度传感器。

10.一种气体反应釜系统，包括反应釜和气体的纯化装置，其特征在于，所述气体的纯化装置为如权利要求1-9任一项所述的纯化装置，且所述气体压缩机组(1)的气体进口与所述反应釜的气体出口连接。