[实用新型]用于离子植入机中的静电透镜的抑制电极有效
| 申请号： | 201621046979.7 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN206040593U | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | W·戴维斯·李 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/12 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 杨贝贝,臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 离子 植入 中的 静电透镜 抑制 电极 | ||
【权利要求书】：
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