[实用新型]硅片研磨液小型氮气加湿装置有效
| 申请号： | 201621053328.0 | 申请日： | 2016-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN206045822U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 邵艳荣;简建至;林裕哲;蒋陈峰 | 申请（专利权）人： | 冠礼控制科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/04 | 分类号： | B01F3/04 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司31253 | 代理人： | 杨军 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区上海市外高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 研磨 小型 氮气 加湿 装置 | ||
【说明书】：
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