[实用新型]大面积激光加热系统有效
| 申请号： | 201621056273.9 | 申请日： | 2016-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN206274509U | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 杨楷 | 申请（专利权）人： | 铠柏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 梁丽超,刘冀 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大面积 激光 加热 系统 | ||
1.一种大面积激光加热系统，其特征在于，所述大面积激光加热系统包含：
一激光模块，其包含至少一用以发射至少一激光光束的垂直腔面发射激光器以及一连接于至少一所述垂直腔面发射激光器的激光调整机构，其中至少一所述垂直腔面发射激光器所发射的至少一所述激光光束的入射角通过所述激光调整机构进行调整；
一反应模块，其包含一用于承载一样品的样品架；以及
一导引模块，其连接于所述激光模块以及所述反应模块之间，其中至少一所述垂直腔面发射激光器所发射的至少一所述激光光束通过所述导引模块，以导引至所述样品的表面。
2.根据权利要求1所述的大面积激光加热系统，其特征在于，还包含一冷却模块，其连通于所述激光模块以及所述导引模块，其中所述冷却模块提供一冷却水，以对所述激光模块以及所述导引模块进行冷却。
3.根据权利要求2所述的大面积激光加热系统，其特征在于，所述导引模块为一垂直直立腔体，且所述垂直直立腔体具有一用以通过所述冷却水的夹层结构。
4.根据权利要求1所述的大面积激光加热系统，其特征在于，还包含一测温装置，其设置于至少一所述垂直腔面发射激光器旁，用以直接监控所述样品的温度。
5.根据权利要求4所述的大面积激光加热系统，其特征在于，所述测温装置为一红外线测温装置。
6.根据权利要求4所述的大面积激光加热系统，其特征在于，所述测温装置为一高温传感器。
7.根据权利要求1所述的大面积激光加热系统，其特征在于，所述导引模块包含一光学组件，至少一所述激光光束通过所述导引模块的所述光学组件，以聚焦于所述样品的表面。
8.根据权利要求1所述的大面积激光加热系统，其特征在于，所述样品架所承载的所述样品的尺寸大于2寸。
9.一种大面积激光加热系统，其特征在于，所述大面积激光加热系统包含：
一激光模块，其包含多个用以发射多个激光光束的垂直腔面发射激光器以及一连接于至少一所述垂直腔面发射激光器的激光调整机构，其中多个所述垂直腔面发射激光器所发射的多个所述激光光束的入射角通过所述激光调整机构进行调整；
一反应模块，其包含一用于承载一样品的样品架；以及
一导引模块，其连接于所述激光模块以及所述反应模块之间，其中多个所述垂直腔面发射激光器所发射的多个所述激光光束通过所述导引模块，以导引至所述样品的表面；
其中，多个所述垂直腔面发射激光器的多个所述激光光束的光轴相对于所述导引模块的一中心轴倾斜。
10.根据权利要求9所述的大面积激光加热系统，其特征在于，所述激光模块的多个所述垂直腔面发射激光器彼此之间呈弧形排列。
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