[实用新型]放电灯

说明书

技术领域

本实用新型的实施方式涉及一种放电灯。

背景技术

例如，公开有一种在液晶面板制造领域或印刷领域中用作向被照射物照射紫外线以进行曝光、固化、干燥等的光源的放电灯。

专利文献1：日本特开2009-259790号公报

放电灯在以外壁温度成为900℃以上的条件进行点灯时，气密容器产生失透或变形的可能性变高。尤其，在安装放电灯后进行点灯的照射装置的内部中，例如，若在设置于照射装置的冷却机构出现异常或输入于放电灯的电力过高等异常的使用条件下进行点灯，则气密容器产生失透或变形的可能性会变高。因此，优选放电灯外表面的外壁温度在650℃～850℃左右的范围。

另一方面，气密容器在除了温度过度升高以外的情况下也有可能产生失透或变形。例如，有可能因封入于放电灯的封入物而产生气密容器的失透。并且，有可能因在点灯期间产生的热量而产生气密容器的变形。

发明内容

本实用新型的实施方式提供一种放电灯，其能够检测出气密容器的失透或变形是由温度过度升高而引起的。

本实用新型的实施方式的放电灯放射出紫外线，该放电灯具备：内部被气密地密封且在两端以彼此对置的方式卡止有一对电极的气密容器；封入于气密容器的内部的金属卤化物；熔点高于金属卤化物的熔点，并且熔点为1450℃以上且1500℃以下的金属化合物。

根据本实用新型的实施方式，可以提供一种放电灯，其能够检测出气密容器的失透或变形是由温度过度升高而引起的。

附图说明

图1是用于例示第1实施方式所涉及的放电灯的示意图。

图2是表示第1实施方式所涉及的放电灯1的按照气密容器10的外壁温度表示的点灯时间和照度维持率之间的关系的图。

图3是表示第1实施方式所涉及的放电灯1的冷却风W的利用率(％)与气密容器10的外壁温度T_outer、气密容器10的内壁温度T_inner之间的关系的图。

图4是表示第1实施方式所涉及的放电灯1的冷却风W的利用率(％)与气密容器10的外壁温度T_outer、金属化合物18之间的关系的图。

图中：1-放电灯、10-气密容器、12-放电空间、14-密封部、16-金属卤化物、18-金属化合物、20-电极、22-轴材、24-线圈、26-箔片、28-外引线、30-基座、40-导线、50-端子。

具体实施方式

以下说明的实施方式所涉及的放电灯1为放射出紫外线的长弧型的放电灯，其具备：内部被气密地密封且在两端以彼此对置的方式卡止有一对电极20、20的气密容器10；封入于气密容器10的内部的金属卤化物16；熔点高于金属卤化物16的熔点，并且熔点为1450℃以上且1500℃以下的金属化合物18。

根据本实施方式，能够检测出气密容器10的失透或变形。

另外，在以下说明的实施方式所涉及的放电灯1中，金属化合物18包含氧化钨。

根据本实施方式，金属化合物在气密容器10内不会发生化学反应而能够稳定存在，因而能够检测出气密容器10的失透或变形。

以下，参照附图说明本实用新型的各个实施方式。

(第1实施方式)

下面，参考图1说明第1实施方式所涉及的放电灯1。图1中示出了放电灯1。

如图1所示，本实施方式所涉及的放电灯1具有：气密容器10、一对放电电极20、20。

在本实施方式中，例示了作为放电灯1使用了金属卤化物灯的长弧型放电灯的实施方式。

气密容器10形成为直管状，在气密容器10的内部具有放电空间12。并且，通过在气密容器10的两端形成密封部14、14，将放电空间12保持为气密。气密容器10由透过紫外线的材料制成，例如由石英玻璃制成。气密容器的外径为23mm，发光长度(放电电极20、20之间的距离)为375mm。

通过从一对放电电极20、20向放电空间12施加电力，使封入于放电空间12的汞、金属卤化物16和稀有气体(未图示)发光。放电空间12构成为内径例如为20mm、发光长度例如为375mm。

汞封入于放电空间12，并且通过从放电灯1的外部施加电力，放射出例如254nm、365nm的紫外线。汞的封入量例如为1～5mg/cm²。