[实用新型]一种晶圆级封装定位机构

权利要求书

1.一种晶圆级封装定位机构，其特征在于，包括：

第一定位标记，设置于待定位的第一晶圆上；

第二定位标记，设置于待定位的第二晶圆上；

所述第一晶圆和所述第二晶圆平行层叠设置，以使定位完成后所述第一定位标记和所述第二定位标记呈重合状；

红外光源，设置于所述第一晶圆和所述第二晶圆一侧，以提供红外光信号；

红外探测器，设置于所述第一晶圆和所述第二晶圆另一侧，以监测透过所述第一晶圆和所述第二晶圆的红外光信号；

图像显示系统，与所述红外探测器电性连接，以根据所述红外探测器反馈的红外光信号形成至少包括所述第一定位标记和所述第二定位标记的图像。

2.根据权利要求1所述的晶圆级封装定位机构，其特征在于，所述红外光源为红外发光二极管、红外激光二极管、红外激光、氙灯、汞灯、卤素灯、钨灯中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的晶圆级封装定位机构，其特征在于，所述红外光信号为波长大于或等于一微米且小于三微米的红外光。

4.根据权利要求1所述的晶圆级封装定位机构，其特征在于，所述红外光信号为波长大于或等于三微米且小于或等于五微米的红外光。