[实用新型]薄膜X射线衍射原位测试装置有效
| 申请号： | 201621060031.7 | 申请日： | 2016-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN206074486U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王瑞;刘春泽;朱大明;顾月良;阴广志;李晓龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20;G05D27/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 射线 衍射 原位 测试 装置 | ||
【权利要求书】：
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