[实用新型]晶圆清洗机

权利要求书

1.一种晶圆清洗机，包括清洗罐以及与清洗罐可形成密封盖合的上盖，其特征在于，还包括设于清洗罐内用于固定晶圆的固定盘，用于存放乙醇的乙醇箱体，用于存放清洗液的清洗液箱体以及若干管道；所述上盖设有排气口，所述清洗罐内安装有超声波震板，所述上盖的内侧面设有向清洗罐内喷淋清洗液的喷嘴，所述清洗液箱体的排液口通过设有的管道与喷嘴连接；所述清洗罐底部设有排液口，所述乙醇箱体的排液口通过管道与清洗罐的进液口连接，所述清洗罐的底部设有压缩空气的进气管，所述进气管内设有加热器以及检测进气管内气体温度的测温探头。

2.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述喷嘴为圆锥形喷嘴。

3.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述乙醇箱体的排液口依次设有磁力泵和过滤器。

4.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆清洗机还包括用于检测清洗罐内压力的压力表。

5.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆清洗机还包括用于检测清洗液箱体内液位高度的液位感应器。

6.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆清洗机还包括加液管，所述加液管分别与清洗液箱体进液口和清洗罐的进液口连接。

7.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述清洗液箱体的排液口与喷嘴之间设有清洗泵。

8.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述乙醇箱体设有乙醇加液口和乙醇排出口。

9.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆清洗机还包括用于控制上盖开启和关闭的升降气缸。