[实用新型]一种防止硅蒸汽溢出的坩埚有效
| 申请号： | 201621063259.1 | 申请日： | 2016-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN206467334U | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 朱灿;李斌;张亮 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B19/06 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻,杨婷 |
| 地址： | 250000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防止 蒸汽 溢出 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种防止硅蒸汽溢出的坩埚，包括坩埚盖(1)和坩埚(2)，其特征在于：坩埚(2)顶部设有至少一个凹槽(3)，坩埚盖(1)上设有至少一个与凹槽(3)相适应的凸起(4)，凹槽(3)和相应凸起(4)之间形成曲折通道(5)；
所述的凹槽(3)内设有密封柔性材料。
2.根据权利要求1所述的一种防止硅蒸汽溢出的坩埚，其特征在于：所述的凹槽(3)为3个，所述的凸起(4)为3个。
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