[实用新型]用于化学机械抛光承载头的外部夹环，和承载头

权利要求书

1.一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环，其特征在于，所述外部夹环包含：

圆柱体，具有外圆柱壁和内圆柱壁；和

疏水涂层，设置在所述圆柱体的所述外圆柱壁上。

2.如权利要求1所述的外部夹环，其特征在于，所述疏水涂层具有在约25,000nm和约100nm之间的厚度。

3.如权利要求1所述的外部夹环，其特征在于，进一步包含：

上壁和下壁，具有短于所述内圆柱壁和外圆柱壁的高度的宽度。

4.如权利要求3所述的外部夹环，其特征在于，所述上壁和下壁的宽度可小于所述内圆柱壁和外圆柱壁的高度的四分之一。

5.如权利要求1所述的外部夹环，其特征在于，所述圆柱体进一步包含：

薄圆柱带。

6.如权利要求1所述的外部夹环，其特征在于，所述外圆柱壁上的所述疏水涂层包含：

小于约32微英寸的表面粗糙度Ra。

7.如权利要求1所述的外部夹环，其特征在于，所述外圆柱壁包含：

小于或等于约16微英寸的表面粗糙度Ra。

8.如权利要求7所述的外部夹环，其特征在于，所述内圆柱壁包含：

大于或等于约32微英寸的表面粗糙度Ra。

9.如权利要求1所述的外部夹环，其特征在于，所述疏水涂层包含：

硅基涂层材料、PTFE基涂层材料或含碳材料。

10.如权利要求1所述的外部夹环，其特征在于，所述疏水涂层包含：

由羧基硅烷组成的硅基涂层材料。

11.如权利要求1所述的外部夹环，其特征在于，所述疏水涂层是使用添加剂制造操作、喷雾或浸渍施加。

12.一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环，其特征在于，所述外部夹环包含：

薄圆柱带，具有外圆柱壁和内圆柱壁；和

疏水涂层，设置在所述外圆柱壁上，所述疏水涂层包含硅基涂层材料、PTFE基涂层材料或含碳材料。

13.如权利要求12所述的外部夹环，其特征在于，所述疏水涂层具有在约25,000nm和约100nm之间的厚度。

14.如权利要求12所述的外部夹环，其特征在于，所述外圆柱壁上的所述疏水涂层包含：

小于约16微英寸的表面粗糙度Ra。

15.如权利要求12所述的外部夹环，其特征在于，所述外圆柱壁包含：

小于或等于约16微英寸的表面粗糙度Ra。

16.如权利要求15所述的外部夹环，其特征在于，所述内圆柱壁包含：

大于或等于约32微英寸的表面粗糙度Ra。

17.一种承载头，其特征在于，包含：

主体，具有上表面和下表面，所述主体的所述下表面具有从所述主体延伸的安装环；

保持环，耦接至所述主体；

柔性膜，在保持环中向内设置且由保持环限定，所述柔性膜具有被配置以接触保持在所述承载头中的基板的外侧；和

外部夹环，将所述柔性膜固定至所述安装环，所述外部夹环具有以定距离间隔的关系面向所述保持环的外圆柱壁，所述外圆柱壁涂有疏水涂层。