[实用新型]新型砂轮

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种研磨、减薄半导体器件的砂轮，具体为一种新型砂轮。

背景技术

参看图1和图2，当前用于减薄的砂轮多采用单一粒度或粒度接近的复合粒度金刚石磨料，通过结合剂将磨料固定在砂轮的刀头表面，其砂轮刀头如图3所示。众所周知，由于蓝宝石等脆硬性材料的表面难加工的特性，在作业中如果采用硬度相对较软的砂轮，这样势必会消耗大量的砂轮，造成成本上的浪费；同时由于砂轮容屑空间小，排屑不顺畅，碎屑容易对被加工材料表面造成很大的伤害。

发明内容

针对上述技术问题，本实用新型公开的新型砂轮，包括基板和刀头，所述刀头固定在基板上，所述刀头通过基板带动，与待加工工件接触，进行研磨、减薄待加工工件，其特征在于：所述刀头包含第一区域和第二区域，其中第一区域采用刚性材料，第二区域采用柔性材料，所述第一区域被第二区域分割，第一区域至少由两块独立区域组成。

优选的，所述第一区域和第二区域均为对称分布。

优选的，所述第二区域为规则图形，第二区域宽度为刀头宽度的1/5~1/4。

优选的，所述第一区域包含金刚石磨料，所述第二区域包含Cu-Sn结合剂。

优选的，所述第二区域在刀头成十字分布。

优选的，所述十字分布的宽度横纵一致，宽度d1为0.2~5mm。

优选的，所述第二区域在刀头成一字分布。

优选的，所述一字分布的宽度d2为0.2~5mm。

与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：

1、在待加工工件减薄过程中，第二区域由于硬度、韧性小于第一区域，第二区域优先被消耗，在第一区域的各块独立区域之间形成小的凹槽，便于排屑，提升表面质量，减少表面及亚表面损伤；

2、由于第二区域采用结合剂填充，本实用新型成本小于现有刀头全部覆盖金刚石颗粒的砂轮；

3、工件减薄过程中，刀头形成由第一区域的多块独立区域形成多个工作面，工作面的边缘也相当于形成了新的切削刃，有利于提高减薄的质量，并提升减薄的效率；

4、第一区域和第二区域均采用对称分布，对称分布提高刀头的强度，有助于提高砂轮的可靠性。

附图说明

图1为现有砂轮的俯视图。

图2为现有砂轮的主视示意图。

图3为现有砂轮的刀头俯视示意图。

图4为实施例1砂轮的俯视示意图。

图5为实施例1砂轮的主视示意图。

图6为实施例1砂轮的刀头俯视示意图。

图7为实施例2砂轮的刀头俯视示意图。

图示说明：10：基板；11：刀头；121：第一区域；122：第二区域。

具体实施方式

以下结合实施例来进一步解释本发明，但实施例并不对本实用新型做任何限定。

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

实施例1

参看图4和图5，本实用新型公开一种新型砂轮，包括基板10和刀头11，刀头11固定在基板10上，通过基板10带动旋转，与待加工工件接触，对待加工工件进行研磨、减薄，刀头11包含第一区域121和第二区域122，第一区域121采用刚性材料，第二区域122采用柔性材料，第一区域121被第二区域122分割成至少两块独立区域，刀头形成由第一区域的多块独立区域形成多个工作面，工作面的边缘也相当于形成了新的切削刃，有利于提高减薄的质量，并提升减薄的效率。在研磨过程中，第二区域122硬度和韧性低于第一区域121，因此研磨过程中会先于第一区域121被磨掉，形成排屑沟槽，解决原砂轮研磨过程中排屑不畅的问题，便于排屑，提升表面质量，减少表面及亚表面损伤，提高砂轮寿命，保证研磨稳定性。具体来说，第一区域121由金刚石磨料和结合剂组成，具有很强的硬度，砂轮金属结合剂主要为Cu-Sn合金，加入微量Ag，Ti，Cr，Ni，W等金属以调节刀头的硬度，耐磨性及金刚石与结合剂的把持力。第二区域122主要成分为结合剂。

第一区域121和第二区域122均为对称分布，有利于提升刀头强度，减小刀头崩裂的可能性，第二区域122优选为规则图形。参看图6，本实施例的第二区域122采用的是十字分布，十字分布的宽度横纵一致，宽度d1为0.2~5mm，第二区域宽度为刀头宽度的1/5~1/4，以保证加工效率。

实施例2

结合图7，本实施例与实施例1的区别在于，本实施例的第二区域122采用的是一字分布，一字分布的宽度一致，宽度d1为0.2~5mm。构造简单，便于制作。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。