[实用新型]基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统有效
| 申请号： | 201621084208.7 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN206132357U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 袁索超;李红光;达争尚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 数字 动态 激光 远场焦斑 测量 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统，其特征在于：包括聚焦透镜和DMD数字微镜，经过聚焦透镜的光束被DMD数字微镜反射后产生主瓣光路和旁瓣光路；沿主瓣光路的光线方向依次设置有主瓣成像镜头、主瓣衰减片和主瓣CCD探测器；沿旁瓣光路的光线方向依次设置有旁瓣成像镜头、旁瓣衰减片和旁瓣CCD探测器；所述DMD数字微镜、主瓣CCD探测器和旁瓣CCD探测器均与计算机相连。
2.根据权利要求1所述的基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统，其特征在于：所述DMD数字微镜由微镜面阵列组成，每个微镜面均由尺寸不超过13μm×13μm的正方形反射镜片和位于反射镜片底部的转轴构成；在水平状态下，相邻两个微镜面的距离为1μm。
3.根据权利要求2所述的基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统，其特征在于：所述微镜面可沿对角轴线翻转±10°。
4.根据权利要求2所述的基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统，其特征在于：所述微镜面可沿对角轴线翻转±12°。
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