[实用新型]一种碳化硅加工用脱胶加热板有效
| 申请号： | 201621084466.5 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN206181405U | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/28 | 分类号： | H05B3/28;H05B3/02 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 工用 脱胶 加热 | ||
【权利要求书】：
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