[实用新型]真空腔室温控装置有效
| 申请号： | 201621093131.X | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN206076197U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘成;王燕锋;杨硕 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空腔 温控 装置 | ||
【权利要求书】：
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