[实用新型]一种用于平面圆形磁控溅射阴极靶的磁场源有效
| 申请号： | 201621097978.5 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN206173440U | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 谢东;冷永祥;黄楠 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 平面 圆形 磁控溅射 阴极 磁场 | ||
【权利要求书】：
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