[实用新型]掩模版传输系统有效
| 申请号： | 201621100546.5 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN206209287U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 马方波;吴福龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模版 传输 系统 | ||
1.一种掩模版传输系统，其特征在于，包括：版库，缓存台，机械手运动模组以及掩模台，其中，所述缓存台位于所述版库与掩模台之间，所述机械手运动模组横跨于所述缓存台与掩模台之间，所述机械手运动模组的下表面设有一滑轨，一机械手版叉对称地悬挂于所述滑轨上，并沿所述滑轨在所述缓存台与掩模台之间滑动。
2.如权利要求1所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉包括机械手版叉第一部和与所述机械手版叉第一部连接的机械手版叉第二部，所述机械手版叉第一部悬挂于所述滑轨上，所述机械手版叉第二部沿与所述滑轨延伸的方向垂直的第二方向运动。
3.如权利要求2所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉第二部的下表面的周边均匀设置有多个用于固定掩膜版的吊钩组件。
4.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吊钩组件均为单钩组件。
5.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吊钩组件均为双钩组件。
6.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉第二部的下表面设有所述多个吊钩组件获取掩模版时进行预对准操作的粗对准装置。
7.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉第二部的下表面呈多边形。
8.如权利要求3所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手版叉第二部的下表面呈圆形。
9.如权利要求2所述的掩模版传输系统，其特征在于，多个吸附结构均匀分布于所述机械手版叉第二部的下表面上。
10.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结构呈圆形均匀分布。
11.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结 构呈多边形均匀分布。
12.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结构均为真空吸附结构。
13.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结构均为柱体吸附结构。
14.如权利要求9所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述多个吸附结构均为锥体吸附结构。
15.如权利要求2所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述缓存台具有驱使所述缓存台沿所述第二方向运动的第二驱动单元。
16.如权利要求2所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述掩模台具有驱使所述掩模台沿所述第二方向运动的第三驱动单元以及驱使所述掩模台向掩模版曝光位运动的第四驱动单元。
17.如权利要求1所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述版库设有用于载运掩模版至所述缓存台的版库版叉。
18.如权利要求17所述掩模版传输系统，其特征在于，所述版库版叉具有驱使所述版库版叉沿所述滑轨延伸的方向运动的第一驱动单元。
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