[实用新型]一种带有多气缸的真空炉密封机构有效

专利信息
申请号: 201621108787.4 申请日: 2016-10-10
公开(公告)号: CN206208018U 公开(公告)日: 2017-05-31
发明(设计)人: 林茂昌 申请(专利权)人: 上海金克半导体设备有限公司
主分类号: F27D1/18 分类号: F27D1/18
代理公司: 上海骁象知识产权代理有限公司31315 代理人: 赵俊寅
地址: 201108 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 带有 气缸 真空炉 密封 机构
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及真空炉设备技术领域,尤其是涉及一种带有多气缸的真空炉密封机构。

背景技术

真空炉炉门开闭锁紧一般为手动锁紧较多。这种手动锁紧装置操作比较繁琐。开门时,由于炉内处于真空状态,炉门是完全闭合的,即炉门法兰面与炉筒体法兰面完全贴合,如果先打开手动充气阀使炉内达到大气压状态,炉门会产生外往的力,炉门法兰面与炉筒体法兰面会有间隙产生,则夹紧两法兰面的手轮就会卡死,手轮拧动就会比较吃力,甚至无法拧动。所以操作时,在打开手动充气阀前,需要把手轮拧松,使两法兰没有被手轮夹紧,使手轮与两法兰间存有O型密封圈复原的间隙,再打开手动充气阀,使炉内达到大气压状态,再拧开手轮转到一边而开门。炉门上有6个手轮,前后门加起来有12个手轮,操作上相当繁琐。

因此,本实用新型提出了一种带有多气缸的真空炉密封机构,不同使用环境的特性要求,就需要真空炉即能够承受负压,即达到真空密封要求,又需要能够在正压下达到密封要求。

实用新型内容

本实用新型提供一种带有多气缸的真空炉密封机构,以解决现有技术中的操作繁琐,真空密封效果不佳等问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:

一种带有多气缸的真空炉密封机构,包括

炉体,包括炉口,在所述炉口上设有密封环;

行走机构,固定在所述炉口上,包括两条相互平行的行走边条,在所述行走边条上设有滑道,所述行走边条的底部通过连接板连接固定;

在所述连接板上设有升降气缸,在所述升降气缸的升降杆上设有动导轨,所述动导轨的两端分别嵌入所述行走边条的滑道内;

气动机构,包括炉门,所述炉门上固定有多个支撑杆,所述支撑杆穿过所述动导轨并使得所述炉门固定在所述动导轨上;

所述炉门上还固定有第一气缸,所述第一气缸的气缸杆的顶端与所述动导轨相抵触。

作为优选的技术方案,所述动导轨上还设有两个或两个以上的第二气缸,所述第二气缸的气缸杆的顶端与所述炉门相抵触。

作为优选的技术方案,所述炉门设有气缸套管,所述气缸套管通过紧固件及压块固定在所述炉门上,所述第二气缸的气缸杆设置在该气缸套管内。

作为优选的技术方案,所述动导轨为“┻”形状。

作为优选的技术方案,所述行走机构的行走边条通过固定锁块固定在所述炉口上,以保证所述行走机构的稳定性。

作为优选的技术方案,所述炉口上还设有悬梁块,在所述悬梁块上设有光电开关,在所述动导轨的对应位置设有反光片,所述光电开关与反光片相配合以控制所述升降气缸升降运动,并保护所述升降气缸的异常升降,如果行走机构上方被其它物件遮住,或是影响行走机构向上运动,所述悬梁块上的光电开关接收不到反光片上反射回来的信号,则升降气缸不能向上运动,以保证所述炉门的安全。

作为优选的技术方案,所述升降气缸为SC40-300标准气缸。

作为优选的技术方案,所述炉口上设有至少一个环形密封槽,所述密封环固定在密封槽内。

作为优选的技术方案,所述密封环为可压缩的空心密封圈。

作为优选的技术方案,所述动导轨上设有滑套,所述支撑杆设置在所述滑套内。

本实用新型具有的有益效果是:采用升降气缸保证了炉门的开启快速方便,操作简单,同时气缸机构可以保证炉门和炉口的紧密挤压,真空密封效果好。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方案或现有技术中的技术方案,下面将对实施方案或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方案,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型:一种带有多气缸的真空炉密封机构的结构示意图;

图2为本实用新型:一种带有多气缸的真空炉密封机构的炉口的剖面示意图。

1-炉门、2-行走机构、3-气动机构、4-固定锁块、11-炉口、12-密封环、13-密封槽、14-支撑杆、141-滑套、15-第一气缸、16-第二气缸、161-气缸套管、162-压块、21-行走边条、22-滑道、23-连接板、24-升降气缸、25-动导轨。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。

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