[实用新型]一种真空吸板系统

权利要求书

1.一种真空吸板系统，其特征在于：包括吸盘盖板、真空吸盘，该真空吸盘包括内设的真空槽及设置于真空槽底面上的若干分隔柱，所述真空槽通过吸盘盖板封闭而构成一真空腔体，所述真空腔体通过分隔柱分隔为若干互相连通的小腔体，且真空槽的底面上设有若干与真空腔体连通的抽气孔，每一抽气孔上安装有吸盘气嘴，所述吸盘气嘴通过气管与电磁阀控制机构连接，电磁阀控制机构与负压发生器及压缩气体发生器连接，所述吸盘盖板上设有与曝光的PCB板面积相应的针孔区域。

2.根据权利要求1所述的一种真空吸板系统，其特征在于：所述电磁阀控制机构包括真空分接器、电磁阀组，电磁阀组上设有阀组进气嘴、阀组出气嘴及破真空气嘴，所述吸盘气嘴通过气管与真空分接器上对应的分气嘴连接，所述真空分接器上的总气嘴通过气管与阀组进气嘴连通，所述阀组出气嘴通过气管与负压发生器连接，所述破真空气嘴通过气管与压缩气体发生器连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空吸板系统，其特征在于：所述电磁阀组包括抽真空电磁阀及破真空电磁阀，且抽真空电磁阀控制阀组进气嘴与阀组出气嘴间的通断；所述破真空电磁阀控制阀组进气嘴与破真空气嘴间的通断。

4.根据权利要求2所述的一种真空吸板系统，其特征在于：所述破真空气嘴与压缩气体发生器间设有过滤减压阀。

5.根据权利要求1所述的一种真空吸板系统，其特征在于：所述分隔柱为横截面为正方形的方形柱，该方形柱的顶面与真空槽的槽壁顶面平齐，所述吸盘盖板能够与方形柱的顶面与真空槽的槽壁顶面贴紧从而构成很好的密封。