[实用新型]一种复合式压电变形镜

权利要求书

1.一种复合式压电变形镜，其特征在于：包括单压电变形镜和单压电执行器阵列，单压电变形镜设置在单压电执行器阵列的上方，并通过连接在单压电执行器阵列上的连接柱支撑；单压电变形镜由从上往下依次设置的光学反射层、第一弹性层、作为公共地的正面电极层、第一压电层、背面电极层；单压电执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电执行器，每个单压电执行器包括第二弹性层和第二压电层，第二压电层的两面均覆盖有电极层，每个单压电执行器上均连接有支撑用的连接柱。

2.如权利要求1所述的复合式压电变形镜，其特征在于：单压电变形镜正面电极层是整片结构，背面电极层是由多个小电极组合而成。

3.如权利要求1所述的复合式压电变形镜，其特征在于：单压电变形镜的电极数量比单压电执行器阵列电极数量高一或两个数量级。

4.如权利要求1所述的复合式压电变形镜，其特征在于：单压电执行器的谐振频率比单压电变形镜的谐振频率高。

5.如权利要求1~4之一所述的复合式压电变形镜，其特征在于：单压电执行器阵列中的多个单压电执行器是一体结构或是分离结构。

6.如权利要求5所述的复合式压电变形镜，其特征在于：单压电执行器的第二压电层设置在第二弹性层的上方，或者第二弹性层设置在第二压电层的上方。

7.如权利要求6所述的复合式压电变形镜，其特征在于：连接柱位于单压电执行器的中心处。

8.如权利要求7所述的复合式压电变形镜，其特征在于：每个单压电执行器下面均对应一个通孔，通过第二弹性层固定于基座上。