[实用新型]一种四氯化硅汽化装置有效
| 申请号： | 201621117670.2 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN206069388U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 马军;蒋立民;胡永吉 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 施翔宇 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 汽化 装置 | ||
【说明书】：
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