[实用新型]以蓝宝石为基底的短波红外带通滤光片有效
申请号: | 201621119968.7 | 申请日: | 2016-10-13 |
公开(公告)号: | CN206147131U | 公开(公告)日: | 2017-05-03 |
发明(设计)人: | 罗海瀚;刘定权;蔡清元;孔园园 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 基底 短波 外带 滤光 | ||
1.一种以蓝宝石为基底的短波红外带通滤光片,其结构为:在基底的一面沉积正面带通膜系(1),在基底的另一面沉积反面截止膜系(3),其特征在于:
a、所述的正面带通膜系(1)的膜系结构为:
基底/H L H 2M H L H L H L H 2M H L H L H L H 2M H L H L/空气
其中,H表示一个λ0/4光学厚度的Si膜层,L表示一个λ0/4光学厚度的SiO2膜层,M表示一个λ0/4光学厚度的SiO膜层,λ0为中心波长,M前的数字为膜层的厚度比例系数;
b、所述的反面截止膜系(3)的膜系结构为:
基底/0.69H0.76L 1.01H(1L 1H)4.99L 0.68H 2.38L/空气
其中,H表示一个λ0/4光学厚度的Si膜层,L表示一个λ0/4光学厚度的SiO2膜层,λ0为中心波长,H与L前的数字为膜层的厚度比例系数。
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