[实用新型]掩膜板夹取装置有效
| 申请号： | 201621125745.1 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN206126317U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 林治明;王震 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板夹取 装置 | ||
1.一种掩膜板夹取装置，其特征在于，所述装置包括：
第一夹取部、第二夹取部以及吸附部；
所述第一夹取部和所述第二夹取部相对设置，用于将掩膜板固定在所述第一夹取部和所述第二夹取部之间；
在所述掩膜板放置在所述第一夹取部上时，所述吸附部能够与所述掩膜板靠近所述第一夹取部的一面接触，并吸附所述掩膜板。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，
所述吸附部设置在所述第一夹取部的一侧，且所述吸附部的吸附面与所述第一夹取部的端面位于同一平面。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，
所述吸附部设置在所述第一夹取部靠近所述掩膜板的一侧。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，
所述吸附部设置在所述第一夹取部的端面。
5.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，所述吸附部包括吸附面板和抽真空组件；
所述吸附面板上设置有多个贯穿所述吸附面板的通孔；
所述抽真空组件通过气管与所述多个通孔连通，当所述吸附面板与所述掩膜板接触时，所述抽真空组件能够通过所述多个通孔，对所述吸附面板与所述掩膜板之间的空间进行抽真空。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，
所述多个通孔的进气口阵列排布在所述吸附面板的吸附面上。
7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，
所述多个通孔中至少两个通孔共用一个出气口，所述出气口为与所述气管连接的开口。
8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，
所述吸附面板的吸附面上设置有硅胶层。
9.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，所述吸附部包括支撑组件、抽真空组件和多个真空吸嘴；
所述多个真空吸嘴插装在所述支撑组件上，且每个所述真空吸嘴与所述抽真空组件连通。
10.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，
所述吸附部为电磁铁。
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