[实用新型]一种用于扩散炉的多管排废系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及扩散炉排废技术领域，更具体地说是涉及一种用于扩散炉的多管排废系统。

背景技术

扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂形成PN结，其中PN结方块电阻的大小对电池性能有着重要的影响，这样高方阻工艺成为一种提高转换效率的有效方法，而且高方阻工艺对酸排流量的控制和压力平衡有很高的要求。

现有扩散炉酸排废液大多数都是采用一根主管来排废，即一根主管上连通有多根酸排管，这样各个酸排管之间排废流量不能单独控制，而且各个酸排管之间的排废压力会互相干涉，直接影响了高方阻工艺时方阻的均匀性。另外，每个酸排管单独在酸排处增加球阀，但是由于酸排的结晶杂质很容易造成球阀的堵塞。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于扩散炉的多管排废系统，使得各个酸排管之间的排废压力不会发生干涉。

本实用新型的技术方案为：一种用于扩散炉的多管排废系统，包括主排废管、废液收集管和与废液收集管连通的废液收集瓶，还包括若干根排废小管，所述若干根排废小管的两端分别与所述主排废管和所述废液收集管连通，每根所述排废小管上设置与该排废小管连通的酸排管接头，所述酸排管接头与酸排管连通。

每根所述排废小管上位于酸排管接头的上方设置第一球阀，每根所述排废小管上位于酸排管接头的下方设置第二球阀。

所述排废小管为四根或者五根。

还包括固定板，所述固定板上设有与排废小管的数量相等的通孔，所述固定板通过其上的通孔套在排废小管上并与排废小管之间焊接。

所述排废小管的上、中、下位置分别设置有一个所述固定板。

所述第一球阀和所述第二球阀均为聚四氟球阀。

所述排废小管的两端分别与所述主排废管和所述废液收集管焊接。

所述酸排管接头焊接在排废小管上。

本实用新型的多管排废系统，酸排废液可以直接通过排废小管流入到废液收集瓶，各个酸排管之间的排废压力不会发生干涉。而且在每根所述排废小管上位于酸排管接头的上方设置第一球阀，在每根所述排废小管上位于酸排管接头的下方设置第二球阀，可以通过调节第一球阀和第二球阀来控制酸排管的排废流量。

附图说明

图1为本实用新型多管排废系统的结构图。

具体实施方式

如图1，本实用新型提出的用于扩散炉的多管排废系统，包括主排废管10、废液收集管20和与废液收集管20连通的废液收集瓶30。该多管排废系统还包括若干根排废小管40，该若干根排废小管40的两端分别与主排废管10和废液收集管20连通。本实施例中排废小管40为四根或者五根，图中视出的为四根。排废小管40的两端分别与主排废管10和废液收集管20焊接。

每根排废小管40上设置与该排废小管连通的酸排管接头43，酸排管接头43与酸排管（图中未画出）连通，这样酸排管中的废液就可以直接通过排废小管流入到废液收集管20中。

每根排废小管40上位于酸排管接头43的上方设置第一球阀41，每根排废小管40上位于酸排管接头43的下方设置第二球阀42。第一球阀41用来控制主排废管10排出的废气流量，第二球阀42用来控制酸排管中的废液流量。酸排废液流经酸排管后，再依次流经排废小管、废液收集管，最后流入废液收集管内，在此过程中可以通过调节第一球阀41和第二球阀42来控制酸排管中的废液流量。另外，打开第二球阀42还能将酸排废液的杂质结晶排至废液收集瓶，避免堵塞。本实施例中酸排管接头43焊接在排废小管40上。

本实施例中第一球阀41和第二球阀42均为聚四氟球阀。

该多管排废系统还包括固定板50，固定板50上设有与排废小管40的数量相等的通孔，固定板50通过其上的通孔套在排废小管40上并与排废小管40之间焊接。本实施例中固定板上设有四个通孔与四个排废小管相对应，固定板通过其上的四个通孔套在四个排废小管并与该四个排废小管之间分别焊接，从而将四个排废小管连接在一起，避免了四个排废小管产生晃动。本实施例中排废小管40的上、中、下位置分别设置一个固定板50。

本实用新型提出的多管排废系统，每根酸排管与一根单独的排废小管连通，酸排废液直接通过排废小管流入到废液收集瓶，各个酸排管之间的排废压力不会发生干涉。而且在每根排废上的酸排管接头的上方、下方分别设置第一球阀、第二球阀，可以通过调节第一球阀和第二球阀来控制酸排管的排废流量，使得高方阻工艺时方阻的均匀性好。

以上的具体实施例仅用以举例说明本实用新型的构思，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。