[实用新型]一种铌酸锂薄膜QPSK光调制器有效
| 申请号： | 201621155126.7 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN206497266U | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李萍;范宝泉 | 申请（专利权）人： | 天津领芯科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司12107 | 代理人： | 张义 |
| 地址： | 300000 天津市北辰区北辰经济*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂 薄膜 qpsk 调制器 | ||
1.一种铌酸锂薄膜QPSK光调制器，其特征在于，包括：光学波导(2)、金属薄膜电极(3)、石英基底晶片(5-1)、铌酸锂薄膜(5-2)，所述石英基底晶片(5-1)为光学级、双面抛光的石英晶片，其厚度为0.1mm至2mm，所述铌酸锂薄膜(5-2)为光学级、具有单晶结构、切向为X切Y传、厚度为0.1μm至20μm，所述光学波导(2)为钛扩散波导，其扩散宽度为0.1μm至10μm，扩散深度为0.1μm至10μm，所述金属薄膜电极(3)具有行波结构、厚度在0.1μm至30μm；
所述铌酸锂薄膜QPSK光调制器还包括用于进行铌酸锂薄膜QPSK光调制器封装的金属封装管壳，所述金属封装管壳包括：金属封装管壳壳体(6-1)、射频同轴连接器(6-2)、相位调制器引脚(6-3)、光纤模块(6-4)、光纤(6-5),射频同轴连接器(6-2)装载于金属封装管壳壳体(6-1)的外壁上，射频同轴连接器(6-2)的管脚通过键合引线与金属薄膜电极(3)连接,相位调制器引脚(6-3)通过键合引线与金属薄膜电极(3)连接,铌酸锂薄膜(5-2)的光学波导(2)的输入端与输出端分别与光纤模块(6-4)耦合粘接，光纤(6-5)从金属封装管壳壳体(6-1)两侧穿出。
2.根据权利要求1所述的铌酸锂薄膜QPSK光调制器，其特征在于，所述金属封装管壳壳体(6-1)采用不锈钢基体材料，射频同轴连接器(6-2)采用SMA、K、V、GPO、GPPO、G3PO同轴连接器。
3.根据权利要求1所述的铌酸锂薄膜QPSK光调制器，其特征在于，所述金属薄膜电极(3)为金或铝金属薄膜制成的电极结构。
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