[实用新型]一种可供多点同测的探针卡有效
申请号: | 201621156117.X | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN206271667U | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 董尚平 | 申请(专利权)人: | 广东利扬芯片测试股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司44215 | 代理人: | 刘克宽 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多点 探针 | ||
1.一种可供多点同测的探针卡,包括PCB板,PCB板底层安置有探针基座,探针基座设有多个探针,其特征在于:所述探针基座包括多排针座,每排针座水平排列后倾斜以形成阶梯式排布,每个针座均固定有探针,该探针的针尖外露于所述针座,所述探针的针尖的倾斜角度与所述针座的倾斜角度相同,且各个探针的针尖处于同一水平面。
2.如权利要求1所述的一种可供多点同测的探针卡,其特征在于:所述探针为圆锥状导电体,其针尖为圆点。
3.如权利要求1或2所述的一种可供多点同测的探针卡,其特征在于:全部探针的针尖水平度不超过+/-0.2mils。
4.如权利要求1所述的一种可供多点同测的探针卡,其特征在于:多排针座分为两组,两组针座并行排列,其长边相互平行,且两组针座分别往内倾斜。
5.如权利要求4所述的一种可供多点同测的探针卡,其特征在于:所述两组针座之间横设有支撑件,在两组针座倾斜时支撑件的两端分别支撑住两组针座使其不完全倒下。
6.如权利要求5所述的一种可供多点同测的探针卡,其特征在于:所述支撑件是圆柱,圆柱的两端分别为往圆柱中间倾斜的斜面。
7.如权利要求1或4所述的一种可供多点同测的探针卡,其特征在于:每排针座设有偶数个探针,各个探针沿针座长边方向排列。
8.如权利要求1所述的一种可供多点同测的探针卡,其特征在于:所述PCB板上设有至少1组防呆孔,每组防呆孔呈线性排列,且防呆孔呈圆形,孔之间的连线成直线且该直线不经过PCB板的中心点。
9.如权利要求1所述的一种可供多点同测的探针卡,其特征在于:所述PCB板顶层设置有硬度加强架,硬度加强架与顶层之间设有绝缘材料层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造