[实用新型]一种LED复合匀光器及使用该复合匀光器的曝光系统有效
| 申请号： | 201621173564.6 | 申请日： | 2016-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN206147256U | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张博 | 申请（专利权）人： | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司41107 | 代理人： | 毋致善 |
| 地址： | 453000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 led 复合 匀光器 使用 曝光 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种LED复合匀光器，包括光源和匀光器，其特征在于：所述光源为LED芯片阵列，所述LED芯片阵列中的每个LED芯片分别对应锥形光棒阵列中的一个锥形光棒，所述锥形光棒为进光端小而出光端大的锥形，在所述锥形光棒阵列的出光端设有锥形匀光器，所述锥形匀光器为进光端小而出光端大的锥形。
2.根据权利要求1所述的LED复合匀光器，其特征在于：所述锥形光棒阵列中的锥形光棒为实心锥形光棒，锥形匀光器为空心锥形匀光器。
3.一种曝光系统，包括光源和匀光器，其特征在于：所述光源为LED芯片阵列，所述LED芯片阵列中的每个LED分别对应锥形光棒阵列中的一个锥形光棒，所述锥形光棒为进光端小而出光端大的锥形，在所述锥形光棒阵列的出光端设有锥形匀光器，所述锥形匀光器为进光端小而出光端大的锥形；在所述锥形匀光器的出光端外设有第一曲面反射镜和第二曲面反射镜，第一曲面反射镜的凹面与所述锥形匀光器的出光端口相对，第二曲面反射镜的凹面分别与第一曲面反射镜的凹面和曝光工作台面相对。
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