[实用新型]MEMS型光滤波器有效
| 申请号： | 201621175172.3 | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN206133112U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 夏源;林垂真;夏小斌;徐炜;杨代荣;谢红 | 申请（专利权）人： | 昂纳信息技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS型光滤波器，其特征在于，其包括：光栅、内部设有MEMS芯片的MEMS外壳、与该MEMS连接的底板、MEMS型光滤波器的外盒、以及连接所述底板和外盒的缓冲垫片，其中，所述光栅和MEMS外壳固定连接。
2.根据权利要求1所述的MEMS型光滤波器，其特征在于：所述MEMS芯片为双轴MEMS芯片，其包括相互垂直的第一转轴和第二转轴、以及位于该第一转轴和第二转轴之间的镜面。
3.根据权利要求1或2所述的MEMS型光滤波器，其特征在于：所述缓冲垫片为高阻尼系数的垫片。
4.根据权利要求1或2所述的MEMS型光滤波器，其特征在于：还包括连接所述光栅和MEMS外壳的连接件。
5.根据权利要求4所述的MEMS型光滤波器，其特征在于：所述光栅和MEMS外壳通过所述连接件固定连接在一起。
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