[实用新型]一种四氟化碳的纯化系统有效
| 申请号： | 201621180435.X | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN206109252U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 肖三;廖恒易;陈艳珊;袁淑筠 | 申请（专利权）人： | 广东华特气体股份有限公司;江西华特电子化学品有限公司 |
| 主分类号： | C07C19/08 | 分类号： | C07C19/08;C07C17/007;C07C17/38;C07C17/383 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 528225 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 纯化 系统 | ||
【权利要求书】：
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