[实用新型]用于真空腔室的密封结构

说明书

技术领域

本申请涉及一种密封结构，尤其涉及一种用于真空腔室的密封结构。

背景技术

大型的真空腔室的密封结构通常为L型密封和平面密封如图5所示，对于L型密封，虽然其下封件设有台阶状凸起5，便于密封圈定位，但是上下密封面有严格的配合要求，大大增加了加工和安装难度。对于平面密封，如图6所示，其对接的两个密封面均为平面，虽然加工密封面方便，但是密封圈3定位困难，常常导致法兰对接时密封圈3偏移，造成安装难度大。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于真空腔室的密封结构，旨在同时解决现有的密封结构的密封圈的定位问题及加工、安装困难问题。

一种用于真空腔室的密封结构，包括：

第一密封件，所述第一密封件向外凸出形成有第一凸台，所述第一凸台形成有第一密封面；

第二密封件，所述第二密封件向外凸出形成有第二凸台，所述第二凸台形成有第二密封面，所述第二密封面与所述第一密封面相对，所述第二凸台自所述第二密封面内凹形成有定位槽；

沿所述定位槽设置的密封圈；

及连接所述第一密封件与所述第二密封件的连接件，所述连接件用于使所述第一密封面及所述第二密封面对所述密封圈进行挤压以形成密封连接。

所述的用于真空腔室的密封结构，其中，所述密封圈为铝丝。

所述的用于真空腔室的密封结构，其特征在于，所述铝丝的直径范围为3mm～5mm。

所述的用于真空腔室的密封结构，其特征在于，所述铝丝的直径为4mm。

所述的用于真空腔室的密封结构，其特征在于，所述连接件为螺栓。

本实用新型所给出的用于真空腔室的密封结构，由于第一密封件及第二密封件分别形成有第一凸台及第二凸台，减少了机械加工量，该密封结构不存在配合要求，加工更加简单，安装方便，另外，第二密封面内凹形成有定位槽，同时解决了密封圈的定位问题。

附图说明

图1为本实用新型实施例中，立体示意图；

图2为本实用新型实施例中，真空腔室的爆炸图；

图3为本实用新型实施例中，真空腔室的剖面图；

图4为图3中A处放大图；

图5为现有技术中L型密封的结构示意图；

图6为现有技术中平面密封的结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本申请作进一步详细说明。

本实施例所给出的用于真空腔室的密封结构如图1及图4所示，包括第一密封件1、第二密封件2、密封圈3及连接件4。第一密封件1向外凸出形成有第一凸台11，第一凸台11形成有第一密封面111。第二密封件2向外凸出形成有第二凸台21，第二凸台21形成有第二密封面211，第二密封面211与第一密封面111相对，第二凸台21自第二密封面211内凹形成有定位槽212。密封圈3沿所示定位槽212设置。连接件4连接第一密封件1与第二密封件2，连接件4用于使第一密封面111及第二密封面211对密封圈3进行挤压以形成密封连接。

具体地，如图1、图2及图3所示，本实施例的第一密封件1为箱盖，第二密封件2为箱体，第一密封件1盖设在第二密封件2的开口端，第一密封件1与第二密封件2共同形成一个真空腔室，通过分子泵抽真空即形成能满足真空度≤1×10^-4Pa的真空腔室。其中，箱体和箱盖的材料可以采用304不锈钢或者碳钢。

当然，第一密封件1不限于箱盖，第二密封件2不限于箱体。也可是第一密封件1密封连接在箱盖上，第二密封件2密封连接在箱体上，或者，第一密封件1密封连接在箱体上，第二密封件2连接在箱盖上，整体可形成真空腔室即可。

在工作环境为辐射环境(如γ射线)，密封结构要求耐辐射，无法使用氟橡胶等材料密封，则密封圈3采用金属密封。进一步地，密封圈3为铝丝。如此，密封圈3采用铝丝更加经济实用，节约成本。当然，密封圈3不限于铝丝，还可以为其它材料，如铟丝或者金丝，但是，与铟丝和金丝相比，用铝丝密封可以大大降低成本。

具体地，本实用新型的铝丝为纯铝丝，热处理350℃退火1小时，使铝丝变软以便在挤压下更易于变形与第一密封面111及第二密封面211贴合密封。铝丝的直径范围为3mm～5mm。如此，铝丝能较好地被挤压变形与第一密封面111及第二密封面211贴合进入密封状态。