[实用新型]氮化铝陶瓷的激光加工装置

权利要求书

1.氮化铝陶瓷的激光加工装置，其特征在于：包含准连续激光器(1)、具有保护层的光纤(2)、玻璃器皿(11)以及恒温超声清洗装置(12)，所述准连续激光器(1)的光路输出端通过具有保护层的光纤(2)与激光头(3)传导连接，激光头(3)的输出光路上依次布置有准直镜(4)和聚焦镜(6)，聚焦镜(6)的光路输出端正对于X-Y运动平台(9)，所述X-Y运动平台(9)通过升降机构安装于玻璃器皿(11)之上，玻璃器皿(11)置于恒温超声清洗装置(12)中。

2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷的激光加工装置，其特征在于：所述X-Y运动平台(9)的上方布置有影像系统(5)。

3.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷的激光加工装置，其特征在于：所述聚焦镜(6)上安装有喷嘴(7)，喷嘴(7)正对于X-Y运动平台(9)，喷嘴(7)连接辅助吹气装置(8)。

4.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷的激光加工装置，其特征在于：所述准连续激光器(1)为1064nm光纤准连续激光器。

5.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷的激光加工装置，其特征在于：所述光纤(2)的保护层由橡胶或者铝制薄膜缠绕形成。

6.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷的激光加工装置，其特征在于：所述玻璃器皿(11)中盛放有溶液，溶液为盐酸溶液或者丙酮溶液。

7.根据权利要求2所述的氮化铝陶瓷的激光加工装置，其特征在于：所述影像系统(5)为高分辨率辅助定位影像系统。

8.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷的激光加工装置，其特征在于：控制系统(10)与X-Y运动平台(9)控制连接。

9.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷的激光加工装置，其特征在于：所述X-Y运动平台(9)上方的一侧布置有真空吸附装置。