[实用新型]一种直写式曝光机用双分镜头有效
| 申请号： | 201621197375.2 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN206400259U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 俞庆平;陈修涛;高明;韩非;董辉;王运钢;孙苏根;夏焱;李泽忠;成超;胡昀 | 申请（专利权）人： | 俞庆平 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 安徽省合肥市蜀山区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直写式 曝光 机用双 分镜头 | ||
【权利要求书】：
1.一种直写式曝光机用双分镜头，其特征在于：包括两组相互轴对称的棱镜组合，每组棱镜组合均由一个Y轴向导光棱镜（10）、一个X轴向导光棱镜（20）以及一个错位微调棱镜（30）连接组成；
所述的Y轴向导光棱镜（10）为斜四棱柱形，两组棱镜组合中的Y轴向导光棱镜（10）的顶面边缘对齐后紧靠在一起，两个Y轴向导光棱镜（10）的顶面在同一平面内，并且两个Y轴向导光棱镜（10）之间还要满足以下相互位置条件，即一组平行光垂直于两个导光棱镜（10）的顶面入射后，平行光第一次经两个Y轴向导光棱镜（10）的侧面反射后，反射光的出射方向是相反的；
所述的Y轴向导光棱镜（10）的底面连接着X轴向导光棱镜（20）的顶面，X轴向导光棱镜（20）的侧面连接着错位微调棱镜（30）；
所述的X轴向导光棱镜（20）上设有一个斜面对着顶面，该斜面的空间角度要能将从X轴向导光棱镜（20）顶面直射下来的光线反射向错位微调棱镜（30）；
所述的错位微调棱镜（30）上设有一个斜面，该斜面的空间角度要能将从X轴向导光棱镜（20）射来的光线反射向错位微调棱镜（30）的底面。
2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用双分镜头，其特征在于：所述的错位微调棱镜（30）的底面还连接有一个光程差补偿棱镜（40）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于俞庆平，未经俞庆平许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201621197375.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种柔性材料的双面曝光装置
- 下一篇：一种适用于曲面手机玻璃的直写曝光系统
