[实用新型]一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台

权利要求书

1.一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台，其特征在于：右侧板，左侧板分别与底座固定连接，上板通过侧板联接孔与右侧板，左侧板顶部固定连接，所述上板上有四个中心对称分布的柔性铰链，工件基座四周与四个柔性铰链连接，X轴压电叠堆后端与上板X轴压电叠堆固定孔连接、前端与柔性铰链相接触，X轴微位移传感器与上板X轴微位移传感器固定孔连接、且位于X轴压电叠堆对侧，Y轴压电叠堆后端与上Y轴压电叠堆固定孔板连接、前端与柔性铰链相接触，Y轴微位移传感器与上板Y轴微位移传感器固定孔连接、且位于Y轴压电叠堆对侧，Z轴压电叠堆顶端与工件基座底部接触、底部通过微调装置与底座连接。

2.根据权利要求1所述的一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台，其特征在于：所述微调装置由四个对称分布的L型块、锲形块和微调螺母组成，锲形块与Z轴压电叠堆底部斜面连接，微调螺母与L型块螺纹连接、且前端与锲形块顶接。