[实用新型]一种全自动插片机有效
申请号: | 201621220367.5 | 申请日: | 2016-11-12 |
公开(公告)号: | CN206370413U | 公开(公告)日: | 2017-08-01 |
发明(设计)人: | 侯继伟;贾凌云 | 申请(专利权)人: | 杭州弘晟智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 311106 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 插片机 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生产装置技术领域,特别涉及一种全自动插片机。
背景技术
未来我国水电增长空间有限,核能存在不安全因素,化石能源受节能减排约束成本将上升,而太阳能光伏发电属于清洁可再生新能源,市场前景广阔。因此太阳能单晶硅片的生产加工需求会与日俱增,但是,在太阳能电池硅片的生产过程中,有一道工序是需要人们将硅片一片一片的插装到特制的装片盒内,在现有技术中,人们通常采用人工手动来完成插片操作,不仅劳动强度大、效率低,而且在插片过程中还极易损坏硅片。
目前,公开号为CN203910836U的中国专利公开了一种全自动硅片插片机,它包括机体,所述的机体上设有硅片输出装置、硅片传送装置和装片盒,所述的硅片输出装置通过吸盘与硅片传送装置的硅片进入端连接,所述硅片传送装置的硅片送出端与装片盒相接,所述的装片盒上连接有驱动其相对机体上下升降的装片盒气缸,其中所述的硅片输出装置包括有硅片输出架、硅片输出气缸,所述的硅片传送装置包括有主动轴、主动轴座、主动轮、从动轴、从动轴座、从动轮、传送皮管、传送电机,且所述的传送皮管在其传送方向的两侧各装有一护板。
这种全自动硅片插片机,通过硅片传送装置、硅片输出装置以及安装在硅片传送装置上的吸盘,实现硅片从硅片输出装置中自动化运输至装片盒内,虽然相比现有技术的手工操作,有效的提高了插装效率,但是,通过在硅片传送装置的硅片送出端设置装片盒,以及控制装片盒上下升降的装片盒气缸,在实际插装过程中,由于硅片的厚度及规格大小会不同,所以会对装片盒的安装位置以及稳固性要求较高,在对比文件中,装片盒气缸控制装片盒在机架上的高度位置,在装不同大小的硅片时就会出现硅片卡位不精准,导致摩擦受损的问题,因此,我们需要在此基础上做进一步的改进。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种全自动插片机,其具有结构稳固、适用面广、插装精准度高的优点。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种全自动插片机,包括机体以及安装在机体上的硅片输出装置、硅片传送装置和硅片收集装置,所述硅片收集装置包括安装台、装片盒以及设置在安装台上用于固定装片盒的紧固机构,所述紧固机构包括固定座、设置在固定座上由规格不同的卡槽组成的安装槽组件以及与固定座配合夹紧装片盒的紧固件。
如此设置,装片盒通过紧固机构安装在安装台上,通过固定座卡住装片盒的插入端,同时在装片盒的后方通过紧固件将装片盒进行紧固,使装片盒稳定的固定在安装台上,并且设置了规格不同的卡槽形成的安装槽组件在固定座上,方便在固定座上安装用于插装不同规格硅片的装片盒,这样就能有效的提高硅片收集装置的实用性。
进一步设置:所述固定座包括两块呈“八”字形对称分布的限位块,单块所述限位块的安装面上设有安装槽,所述安装槽至少包括两个卡槽,且相邻的卡槽依次排布呈阶梯状。
如此设置,两块呈“八”字形对称分布的限位块组成的固定座,装片盒通过在前端侧插入固定座,使得装片盒的内壁与固定座的外侧壁贴合,即能完成装片盒的初步固定,并且由排布呈阶梯状的卡槽形成安装槽组件,简单的设计结构,实现方便安装不同规格装片盒的效果。
进一步设置:所述紧固件设置在固定座开口朝向的反侧,且靠固定座一侧的上顶角处设有呈“┕”形的限位槽,所述装片盒的底部设有与限位槽卡盒相对应的限位板,所述紧固件在安装台上可滑动设置。
如此设置,通过限位槽和限位板的配合固定,将装片盒稳定的锁定在紧固件和固定座之间,并且限位板在限位槽内使装片盒与紧固件之间的连接结构强度有效的提高,方便硅片插装工作中,提高装片盒的承重能力和抗撞击能力。
进一步设置:所述安装台上设有安装孔c,固定座和紧固件上均设有与安装孔c相对应的装配孔c,所述安装孔c和配装孔c之间通过防滑螺栓固定。
如此设置,简单的安装方式,稳定的将固定座和紧固件设置在安装台上,并且方便快速安装和拆卸,提高工作方便度。
进一步设置:所述紧固件和固定座上的装配孔c均呈条状且两者的装配孔c相互垂直设置,紧固件上的装配孔c与限位板垂直设置。
如此设置,在安装装片盒的工作中,可通过在安装台上相对硅片插装方向上将紧固件做滑移动作,方便完成对装片盒的进一步紧固,同时,相对硅片插装方向相垂直的方向上将固定座做滑移,方便固定座与装片盒的内壁贴合更紧密,使装片盒更稳定的安装在安装台上。
进一步设置:所述卡槽内壁的顶角处设有与其连通的通孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造