[实用新型]一种多晶硅还原炉底盘

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述多晶硅还原炉底盘上设有电极孔，以所述多晶硅还原炉底盘中心为中心设一正六边形，再以所述正六边形的六条边展开形成6个正六边形，在形成的24个顶点上各分布1个电极孔，外圈电极孔按环向对称紧凑布置，至少布置两圈，形成至少36对电极孔，硅芯按照中心六边形、外圈环向混合搭接，所述7个正六边形的中心分别设有1个进气口，外圈的进气口与环向搭接的硅芯形成同心圆环向布置至少三圈，所述多晶硅还原炉底盘上布有出气口。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述电极孔数量为：外圈至少两圈环向布置，内圈至少12对电极孔，外圈至少12对电极孔，至少24对电极孔，和中心合计形成至少36对电极孔。

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述中心硅芯以正六边形的六个顶点射线搭接，形成六对；再以六边形的周向直边搭接形成六对，共计12对。

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述外圈环向硅芯按照环形对称搭接，形成环形等距硅芯。

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述外圈的进气口满足条件，至少一个进气口分布在两两对应的硅芯周边。

6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述多晶硅还原炉底盘上设有多个出气口，按照一定的方式分布在底盘上。

7.根据权利要求6所述的多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述多晶硅还原炉底盘上设有多个出气口，出气口按照内外圈组合布置,均布在外圈硅芯同心圆上，形成对称布置。

8.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述电极孔内电极铜排串联分相控制，单相至少控制6组硅芯。

9.根据权利要求1至8之一所述的多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述相邻两两电极的间距为200mm～400mm，所述多晶硅还原炉底盘的直径为2500～3500mm。