[实用新型]带感应片的双向旋转真空镀膜室有效
| 申请号： | 201621233702.5 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN206127404U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 许峰 | 申请（专利权）人： | 苏州市博飞光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215124 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感应 双向 旋转 真空镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.带感应片的双向旋转真空镀膜室，包括真空泵、导气管、反应室、蒸发源、镀膜支架、感应片、旋转台、旋转电机，其特征在于真空泵通过导气管与反应室连通，反应室中央位置设置有旋转台，蒸发源为多个，多个蒸发源设置在旋转台上，镀膜支架设置在旋转电机下方，旋转电机设置在反应室顶部，镀膜支架上表面朝上突起，蒸发源位于镀膜支架上表面突起的正下方，镀膜支架顶部位置设置有感应片。
2.根据权利要求1所述带感应片的双向旋转真空镀膜室，其特征在于所述镀膜支架与旋转电机之间为钢性连接。
3.根据权利要求1所述带感应片的双向旋转真空镀膜室，其特征在于所述镀膜支架通过三根支柱钢性连接在旋转电机下方。
4.根据权利要求1所述带感应片的双向旋转真空镀膜室，其特征在于所述镀膜支架顶部呈圆形。
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