[实用新型]具有药剂回收系统的光刻胶涂布机

权利要求书

1.具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀、1个气动阀连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。

2.根据权利要求1所述的具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，所述的药剂循环系统包括4个药剂储存系统、药液信号控制药液供给开关、光刻胶输出口；其中4个药剂储存系统由4个电磁阀-气动阀-电磁阀并联连接而成，4个药剂储存系统中的A-1药剂储存系统和A-2药剂储存系统分别通过1个气动阀、1个电磁阀连接A药液信号控制药液供给开关，B-1药剂储存系统和B-2药剂储存系统分别通过1个气动阀、1个电磁阀连接B药液信号控制药液供给开关，A药液信号控制药液供给开关和B药液信号控制药液供给开关分别连接光刻胶输出口。

3.根据权利要求1所述的具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，所述的药剂回收系统包括1个C药剂储存系统，所述C药剂储存系统的输入端通过1个气动阀、1个电磁阀连接废液排出口前的电磁阀，C药剂储存系统的输出端通过1个电磁阀、1个气动阀连接高压冷却泵的输出端。

4.根据权利要求2或3所述的具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，所述的药剂储存系统包括药剂容器、容器供给输出系统、容器液位传感器；其中容器液位传感器设于药剂容器的内部，容器供给输出系统设于药剂容器的输出口。