[实用新型]一种减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置

权利要求书

1.一种减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，包括蚀刻腔室和装在该腔室上端口的上盖板，腔室内设有射频讯号源，其特征在于，所述上盖板内设有冷却回路，上盖板上设有与冷却回路连通的进管和出管，进管与冷却源连接，出管上设有温度感应器。

2.根据权利要求1所述的减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，其特征在于，所述进管上设有流量调节阀。

3.根据权利要求2所述的减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，其特征在于，所述进管还连接有温度调节装置。

4.根据权利要求1或2或3所述的减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，其特征在于，所述上盖板包括由上往下设置的上层板、中层板和下层板，上层板和中层板之间具有夹层间隙，和/或中层板与下层板之间具有夹层间隙，该夹层间隙形成冷却回路。

5.根据权利要求1或2或3所述的减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，其特征在于，所述上盖板内的冷却回路呈“回”字型分布排列。

6.根据权利要求1或2或3所述的减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，其特征在于，所述上盖板内的冷却回路呈“S”型分布排列。

7.根据权利要求1或2或3所述的减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，其特征在于，所述冷却源为气体或者液体，气体为氢气、氮气、氦气、氧气、氩气或空气，液体为水、冷却液或冷却油。

8.根据权利要求1或2或3所述的减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，其特征在于，所述上盖板由石英、氧化锆、氧化铝、玻璃或塑料制成。