[实用新型]鼓泡板及槽式多功能纳米绒面制备设备

权利要求书

1.一种鼓泡板，其特征在于：所述鼓泡板(110)包括上表面(112)和下表面(114)，所述鼓泡板(110)上分布有若干通孔(116)，并且该通孔从上表面到下表面的孔径逐渐变大；所述鼓泡板(110)的下表面(114)上安装有用于通入压缩空气的气管(120)，所述气管(120)具有进气口(122)和出气口(124)，所述气管(120)上排布有若干排气孔(126)。

2.根据权利要求1所述的鼓泡板，其特征在于：所述气管(120)背向下表面(114)的管壁上排布有若干排气孔(126)。

3.根据权利要求1所述的鼓泡板，其特征在于：所述气管(120)呈弯曲状走向安装在鼓泡板(110)的下表面(114)上。

4.一种槽式多功能纳米绒面制备设备(100)，其特征在于：包括依次排列的多个工艺槽(130)，全部或部分工艺槽内的底部安装有如权利要求1-2任一所述的鼓泡板(110)。

5.根据权利要求4所述的槽式多功能纳米绒面制备设备，其特征在于：全部的工艺槽内安装有鼓泡板(110)，并且所述鼓泡板(110)通过开关控制通断。

6.根据权利要求4所述的槽式多功能纳米绒面制备设备，其特征在于：多个工艺槽中只有用于对硅片进行挖孔和扩孔处理的工艺槽内安装有鼓泡板(110)。

7.根据权利要求4所述的槽式多功能纳米绒面制备设备，其特征在于：工艺槽(130)的个数为16-30个。

8.根据权利要求4所述的槽式多功能纳米绒面制备设备，其特征在于：工艺槽(130)包括反应槽和漂洗槽，相邻反应槽之间设置有一个或两个漂洗槽。

9.根据权利要求4所述的槽式多功能纳米绒面制备设备，其特征在于：工艺槽(130)上还配备有加热装置、冷却装置、药剂添加装置。

10.根据权利要求8所述的槽式多功能纳米绒面制备设备，其特征在于：所述漂洗槽由PP材料制作而成。