[实用新型]对准镜筒、对准镜头及光刻机

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻技术领域，尤其是涉及一种对准镜筒、对准镜头及光刻机。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征的构图的技术。这样的基底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的芯片。在直写式光刻机的光刻系统中，特征图形由空间光调制器微镜阵列产生，这些微镜可以独立寻址单独受控以不同的倾斜方向反射照射的光束，以产生空间光强调制，最后将特征图形通过相应成像光路投影到PCB板上，为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。

目前，直写式光刻机设备的对准镜筒一般采用传统的圆筒状结构将光学系统光路组件包裹起来，这包括四组直径不同的镜片，一个光阑及相应的隔圈、压圈等部件。这种结构因为镜片的直径均较小，且光路上要求镜片间距较大等原因造成对准镜筒筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度。

因此，本申请针对上述问题提供一种新的对准镜筒、对准镜头及光刻机。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提供一种对准镜筒，以解决现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

本实用新型的第二目的在于提供一种对准镜头，以解决现有的对准镜头的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

本实用新型的第三目的在于提供一种光刻机，以解决现有的光刻机的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

基于上述第一目的，本实用新型提供一种对准镜筒，包括第一镜筒和第二镜筒；

所述第一镜筒沿长度方向设置有用于固设第一镜片组的第一光路通道，所述第一光路通道贯穿所述第一镜筒；

所述第二镜筒沿长度方向设置有用于固设第二镜片组的第二光路通道，所述第二光路通道贯穿所述第二镜筒；

所述第一镜筒的第一端与所述第二镜筒的第三端可拆卸连接，且所述第一镜筒的长度方向与所述第二镜筒的长度方向重合。

进一步地，本实用新型所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧能够套设入所述第一光路通道内；

所述第二镜筒与所述第一镜筒通过螺接或者扣接连接。

进一步地，本实用新型所述第一镜筒靠近所述第一端的一侧具有锥形内周面；

所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧具有与所述锥形内周面相匹配的锥形外周面。

进一步地，本实用新型所述锥形外周面延伸至所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧的端部。

基于上述第二目的，本实用新型提供一种对准镜头，包括上述的对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组。

进一步地，本实用新型所述第一镜片组包括第一镜片；所述第二镜片组包括第二镜片、第三镜片和第四镜片；

所述第一镜片固设于所述第一光路通道内；

沿所述第二光路通道的延伸方向，所述第二光路通道内依次固设有所述第二镜片、所述第三镜片和所述第四镜片；且所述第二镜片位于所述第一镜片与所述第三镜片之间。

进一步地，本实用新型所述第一镜片的中心点、所述第二镜片的中心点、所述第三镜片的中心点和所述第四镜片的中心点均位于所述第一光路通道的中心线上。

进一步地，本实用新型所述第一镜片通过第一压圈固设于所述第一光路通道内；所述第一压圈位于所述第一镜片远离所述第一端的一侧；

所述第二镜片与所述第三镜片之间设置有隔圈，所述第二镜片与所述第三镜片通过第二压圈固设于所述第二光路通道内；所述第二压圈位于所述第二镜片靠近所述第三端的一侧；

所述第四镜片通过第三压圈固设于所述第二光路通道内；所述第三压圈位于所述第四镜片远离所述第三端的一侧。

基于上述第三目的，本实用新型提供一种光刻机，包括上述的对准镜头。

进一步地，本实用新型所述第一镜筒远离所述第一端的一侧设置有用于连接环形光源的连接孔。