[实用新型]一种具备光学成像功能的扫描透射电子显微镜

权利要求书

1.一种具备光学成像功能的扫描透射电子显微镜，包括：产生电子束的电子源、对所述电子束进行偏转和聚焦的电子光学镜筒、位于所述电子光学镜筒下方的真空腔室，所述真空腔室内设有样品载台；以及位于所述真空腔室下方的光学成像及照明装置；其特征在于，

所述真空腔室内还包括：位于所述样品载台下方的、与定位装置相连的可移动台，所述可移动台上设有光学镜头和第一电子探测器，所述定位装置设置于所述真空腔室的内壁上，控制所述可移动台在水平和竖直方向移动；

所述真空腔室底部设有一可视窗口，用于所述光学镜头与所述光学成像及照明装置进行光路互连；所述电子光学镜筒底部还设有第二电子探测器。

2.根据权利要求1所述的扫描透射电子显微镜，其特征在于，

所述第一电子探测器为透射电子探测器；

所述第二电子探测器为：二次电子探测器、或背散射电子探测器、或气体探测器。

3.根据权利要求1所述的扫描透射电子显微镜，其特征在于，所述可视窗口由透明薄膜材料组成。

4.根据权利要求3所述的扫描透射电子显微镜，其特征在于，所述透明薄膜材料为：二氧化硅、或氮化硅。

5.根据权利要求1所述的扫描透射电子显微镜，其特征在于，所述样品载台由位移装置和设置于该位移装置上的样品载片组成，所述位移装置用于在水平和竖直方向移动；

所述样品载片为一具有孔阵列的透明薄膜，所述孔的形状包括但不限于：矩形、圆形。

6.根据权利要求5所述的扫描透射电子显微镜，其特征在于，所述样品载片由透明材料组成。

7.根据权利要求5所述的扫描透射电子显微镜，其特征在于，所述样品载片的厚度量级为：百纳米量级～百微米量级。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的扫描透射电子显微镜，其特征在于，所述样品载台的上方还设有光学探测器，用于对透过样品的光信号进行接收成像。

9.根据权利要求8所述的扫描透射电子显微镜，其特征在于，所述光学探测器的形状为环形。

10.根据权利要求8所述的扫描透射电子显微镜，其特征在于，所述光学探测器为：电荷耦合器件CCD、或功率计。