[实用新型]一种光学零件平面研磨装置有效
申请号: | 201621262181.6 | 申请日: | 2016-11-23 |
公开(公告)号: | CN206216467U | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 陈从贺 | 申请(专利权)人: | 福州恒光光电有限公司 |
主分类号: | B24B37/005 | 分类号: | B24B37/005;B24B37/08;B24B37/34;B24B57/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350000 福建省福州市开发区M951*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学 零件 平面 研磨 装置 | ||
1.一种光学零件平面研磨装置,其特征在于:包括研磨下盘和研磨上盘,所述研磨下盘设于一个旋转支撑主轴上,所述旋转支撑主轴连接一个能够调节主轴转速及转向的变频电机,所述研磨上盘设于一个精密进给主轴上,所述精密进给主轴中设有导向定位套筒和精密进给滚珠丝杠副,所述精密进给滚珠丝杠副的输出端设有能够定位夹紧所述研磨上盘的压紧定位夹套,所述压紧定位夹套中设有一个压力检测传感器,所述精密进给滚珠丝杠副的输入端连接一个伺服电机,所述变频电机、压力检测传感器和伺服电机连接一个精密研磨控制器。
2.根据权利要求1所述的一种光学零件平面研磨装置,其特征在于:所述研磨下盘外设有一个研磨防护罩,所述研磨防护罩的底部设有抛光液收集槽,所述抛光液收集槽连接有抛光液循环供给装置,所述抛光液循环供给装置中设有抛光液喷头。
3.根据权利要求1所述的一种光学零件平面研磨装置,其特征在于:所述研磨上盘的顶面中设有抛光液输入孔,所述研磨上盘的研磨底面设有同心状的抛光环槽和放射状的抛光沟槽。
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