[实用新型]方向性可重构的微电子机械天线有效
| 申请号： | 201621263031.7 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN206163710U | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王德波 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01Q3/01 | 分类号： | H01Q3/01;H01Q1/22;H01Q1/38;B81B3/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210023 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 方向性 可重构 微电子 机械 天线 | ||
【权利要求书】：
1.方向性可重构的微电子机械天线，其特征在于，该微电子机械天线以砷化镓为衬底，在衬底上设有微带天线馈线、星型结构微带天线辐射元、MEMS悬臂梁、悬臂梁桥墩；所述星型结构微带天线辐射元的任四个辐射端分别与一个悬臂梁桥墩连接，每个悬臂梁桥墩连接一个MEMS悬臂梁，其中，在每个MEMS悬臂梁的下方在悬臂梁桥墩的两侧各设置一个悬臂梁下拉电极，每个悬臂梁下拉电极上设有介质层，每个悬臂梁下拉电极上的介质层与相应的MEMS悬臂梁之间设有牺牲层；未连接悬臂梁桥墩的星型结构微带天线辐射元的辐射端与微带天线馈线连接。
2.根据权利要求1所述的方向性可重构的微电子机械天线，其特征在于，每个悬臂梁下拉电极、悬臂梁桥墩均与衬底连接。
3.根据权利要求1所述的方向性可重构的微电子机械天线，其特征在于，所述介质层为SiN。
4.根据权利要求1所述的方向性可重构的微电子机械天线，其特征在于，四个所述悬臂梁桥墩相同。
5.根据权利要求1所述的方向性可重构的微电子机械天线，其特征在于，所述牺牲层为聚酰亚胺牺牲层。
6.根据权利要求1所述的方向性可重构的微电子机械天线，其特征在于，四个所述MEMS悬臂梁相同。
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