[实用新型]一种全自动插片机有效
申请号: | 201621263664.8 | 申请日: | 2016-11-12 |
公开(公告)号: | CN206370415U | 公开(公告)日: | 2017-08-01 |
发明(设计)人: | 侯继伟;饶伟星 | 申请(专利权)人: | 杭州弘晟智能科技有限公司;浙江海纳半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 311106 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 插片机 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生产装置技术领域,特别涉及一种全自动插片机。
背景技术
未来我国水电增长空间有限,核能存在不安全因素,化石能源受节能减排约束成本将上升,而太阳能光伏发电属于清洁可再生新能源,市场前景广阔。因此太阳能单晶硅片的生产加工需求会与日俱增,但是,在太阳能电池硅片的生产过程中,有一道工序是需要人们将硅片一片一片的插装到特制的装片盒内,在现有技术中,人们通常采用人工手动来完成插片操作,不仅劳动强度大、效率低,而且在插片过程中还极易损坏硅片。
目前,公开号为CN203910836U的中国专利公开了一种全自动硅片插片机,它包括机体,所述的机体上设有硅片输出装置、硅片传送装置和装片盒,所述的硅片输出装置通过吸盘与硅片传送装置的硅片进入端连接,所述硅片传送装置的硅片送出端与装片盒相接,所述的装片盒上连接有驱动其相对机体上下升降的装片盒气缸,其中所述的硅片输出装置包括有硅片输出架、硅片输出气缸,所述的硅片传送装置包括有主动轴、主动轴座、主动轮、从动轴、从动轴座、从动轮、传送皮管、传送电机,且所述的传送皮管在其传送方向的两侧各装有一护板。
这种全自动硅片插片机,通过硅片传送装置、硅片输出装置以及安装在硅片传送装置上的吸盘,实现硅片从硅片输出装置中自动化运输至装片盒内,虽然这样相比现有技术的手工操作,有效的提高了插装效率,但是,通过在硅片传送装置的硅片送出端设置装片盒,以及控制装片盒上下升降的装片盒气缸,这样的结构,在实际插装过程中,对于只有一个硅片输出装置的全自动插片机,即使可以实现两个或两个以上的装片盒同时进行插片工作,当其中有一个装片盒硅片插满,需要拆下更换空的装片盒时,即会影响到相邻的装片盒插装工作,从而降低工作效率,因此,我们需要在此基础上做进一步的改进。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种全自动插片机,其具有工作效率高、工件插装工作配合协调的优点。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种全自动插片机,包括机体,所述机体上设有硅片输出装置、硅片传送装置以及硅片收集装置,所述硅片收集装置包括设置在硅片传送装置出料端的若干个装片盒以及用于调节装片盒装料顺序的切换机构,所述切换机构包括驱动装置以及安装在机体上可滑动设置的固定架,所述固定架包括用于安装装片盒的板块本体以及安装在板块本体下方的支撑杆,所述支撑杆插设在机体上相对应设有滑轨便于支撑杆的滑动。
如此设置,由机体上的硅片输出装置、硅片传送装置以及硅片收集装置组成,在切换机构中驱动装置的作用下,调节固定架上装片盒的位置,实现了自动化连续生产的效果,同时,固定架安装在机体上设有相适配的滑轨和支撑杆,能有效的提高固定架在机体上切换的位置准确度,并且在装片盒装满硅片后在支撑杆的作用下,整体的结构强度更为稳定,大大的提高了插片机的工作效率和安全系数。
进一步设置:所述板块本体呈圆盘状,若干个所述装片盒均匀的固定在板块本体上方,所述驱动装置固定安装在板块本体下方且输出轴与板块本体的圆心固定连接。
如此设置,只需要控制驱动装置转动板块本体,即可完成装片盒的切换,并且整体结构简单,调节过程中精准度高。
进一步设置:所述硅片传送装置包括取片机构和插片机构,所述取片机构包括固定台、横梁轨道、吸盘座、滑移气缸以及安装在吸盘座上的取料吸盘;所述插片机构包括升降台、插料轨道、插料吸盘以及驱动插料吸盘在插料轨道上滑动的驱动气缸,工作时,所述装片盒的开口与插料轨道的运动轨迹相适配。
如此设置,由取片机构从硅片输出装置内取出硅片,在横梁轨道上滑动至插片机构上,并将硅片转交至插片机构的插料吸盘上,由插片机构完成插料工作,整体结构设置简单,并且装片盒只需要固定安装在插料吸盘的运动方向上即可,能有效的提高插片机构的插料工作效率。
进一步设置:所述吸盘座包括安装取料吸盘的安装板以及控制安装板带动取料吸盘上下滑动的控制气缸。
如此设置,通过在控制气缸驱动安装板带动取料吸盘上下运动,方便了取片机构的取料方便度,并且在实际工作过程中上下运动的结构能有效的提高取料吸盘取到硅片从而进行后面的传送工作。
进一步设置:所述升降台的底部设有控制升降台上下动作的升降气缸。
如此设置,通过升降气缸进一步提高插片机构的插料效率,从而有效的提高硅片插装的工作效率。
进一步设置:所述硅片输出装置设置在硅片传送装置的取料端,硅片输出装置包括固定底板、叠片板以及硅片输出气缸,所述硅片输出气缸设置在机体下方。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造