[实用新型]晶圆清洗装置

权利要求书

1.晶圆清洗装置，其特征在于：包括盛装待清洗晶圆以及清洗液废水的壳体（1），壳体（1）上设置有带动待清洗晶圆水平旋转的可转动晶圆夹具（3），可转动晶圆夹具的底端伸入壳体内垂直夹持待清洗晶圆（2）；位于待清洗晶圆下方的壳体内腔侧壁上设置有用于向待清洗晶圆喷洒清洗液的清洗机构（4），所述清洗机构（4）包括调节机构和喷嘴，喷嘴设置在位于腔体内的调节机构末端；所述壳体上还设置有控制可转动晶圆夹具（3）和清洗机构（4）协调动作的控制机构（5）。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述调节机构包括用于调节喷嘴距离待清洗晶圆距离的长度调节机构（41）、用于调节喷嘴的喷洒方向与壳体侧壁之间夹角的角度调节机构（42）以及用于调节喷嘴摆动幅度的摆幅调节机构（43），所述控制机构的输出端分别与长度调节机构、角度调节机构、摆幅调节机构以及喷嘴的受控端连接；其中，摆幅调节机构安装在壳体侧壁上，长度调节机构安装在摆幅调节机构上，角度调节机构的一端连接侧壁，另一端连接长度调节机构，所述喷嘴固定安装在长度调节机构的内顶端。

3.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述壳体的底部设置有排液口。