[实用新型]具有静压导向功能的一体式三轴向解耦装置及振动台

权利要求书

1.一种具有静压导向功能的一体式三轴向解耦装置，包括：

-滑轨；

-X轴导向组件，其设置在所述滑轨的左侧或右侧，包括沿左右方向延伸的X导向轴；

-Y轴导向组件，其设置在所述滑轨的前侧或后侧，包括沿前后方向延伸的Y导向轴；

-Z轴导向组件，其设置在所述滑轨的下侧，包括沿上下方向延伸的Z导向轴；

其中，所述滑轨分别通过第一静压机构形成的静压油膜层相对所述X导向轴的相对端、所述Y导向轴的相对端以及所述Z导向轴的相对端浮动设置；

所述X导向轴的相背端构成X轴激振输入端，所述Y导向轴的相背端构成Y轴激振输入端，所述Z导向轴的相背端构成Z轴激振输入端；

其特征在于：

所述一体式三轴向解耦装置还包括一连接主体；

所述连接主体包括一上侧敞开的壳体，所述滑轨设置在所述壳体的内部，所述壳体的侧壁分别设置有与所述X导向轴、所述Y导向轴以及所述Z导向轴分别对应的X轴通道、Y轴通道以及Z轴通道，所述X导向轴、所述Y导向轴以及所述Z导向轴分别穿设过所述X轴通道、所述Y轴通道以及所述Z轴通道，并分别通过第二静压机构形成的液压油膜层相对所述X轴通道、所述Y轴通道以及所述Z轴通道浮动设置。

2.根据权利要求1所述的一体式三轴向解耦装置，其特征在于：所述连接主体为浇铸成型的一体结构。

3.根据权利要求1所述的一体式三轴向解耦装置，其特征在于：所述第二静压机构采用带有静压油膜层的液压轴承。

4.根据权利要求3所述的一体式三轴向解耦装置，其特征在于：所述液压轴承的表面分别进行镀层处理，以形成耐摩擦高硬度层。

5.根据权利要求1所述的一体式三轴向解耦装置，其特征在于：所述一体式三轴向解耦装置包括两个所述X轴导向组件和两个所述Y轴导向组件，两根所述X导向轴分别设置在所述滑轨的左侧和右侧，两根所述Y导向轴分别设置在所述滑轨的前侧和后侧，其中一根所述X导向轴的相背端构成X轴激振输入端，其中一根所述Y导向轴的相背端构成Y轴激振输入端。

6.根据权利要求5所述的一体式三轴向解耦装置，其特征在于：另一根所述X导向轴的相背端设置有将其密封的密封罩，另一根所述Y导向轴的相背端设置有将其密封的密封罩。

7.一种振动台，包括激振台面和驱动组件，其特征在于：所述振动台还包括如权利要求1-6任一所述的一体式三轴向解耦装置，所述X轴激振输入端与X轴驱动组件连接，所述Y轴激振输入端与Y轴驱动组件连接，所述Z轴激振输入端与Z轴驱动组件连接，所述滑轨与激振台面连接。

8.根据权利要求7所述的振动台，其特征在于：所述壳体上端口与所述激振台面之间还通过防尘膜柔性连接。